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VPSA制氧设备是以空气为原料，经空气过滤器进入罗茨鼓风机升压，升压气体经过换热器进行冷却，再进入已经再生完毕处于工作状态的吸附器A塔。在吸附器A塔内，空气中的水分等极性分子经过干燥剂被吸附，干燥空气再通过制氧分子筛后，氮气组分被分子筛吸附，氧气在吸附器顶部富集进入氧气缓冲罐。同时部分富集的氧气回流至吸附器B塔内，通过湿式罗茨真空泵对吸附器B塔抽真空，使得吸附器B塔内锂X型分子筛得到再生，如此交替连续不断的制取氧气。
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